PDC610等離子清洗機
zui高輸出:600W,電極尺寸:Φ215×305mm  
小型、多段式等離子清洗機。  
用途  
●提高各種材料的粘接性、表面改質處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關聯部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹脂的樹脂類產品表面改質
●FCC對應  
特征  
●600W的小型高輸出功率
●電極可選擇1·2·3段(采購時)
●可處理縱型的試料收納盒
●可選擇RIE/DP模式(采購時)
●數據記錄器(選配)
●適配點記憶功能(選配)
規格  
| 型號 | PDC610 | 
| 等離子模式 | RIE/DP(固定模式) | 
| 電極構造 | 3段獨立平行平板(固定) | 
| 高頻輸出 | Max600W | 
| 頻率 | 13.56MHz | 
| 控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 | 
| 反應腔尺寸 | W350×D270×H300mm | 
| 反應腔材質 | A5052 | 
| 反應氣體 | 2系統(Ar、O2) | 
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 | 
| 真空泵 | 油泵(約345L/分)·標配 | 
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm | 
| 外裝材質 | 不銹鋼 | 
| 電源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A | 
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